반도체는 시장의 요구에 대응하기 위해 지금까지 성공적으로 Scaling down을 계속해왔다. 그러나 이와 더불어 여러 가지 어려운 이슈들을 해결해야 했다. 먼저 메모리 반도체의 주축을 이루는 DRAM과 NAND Flash 소자의 주요 특성과 이슈들을 살펴 본 후, 소자를 개발할 때 기존의 관점과 다른 시각에서 새롭게 고려해야 하는 것들을 소개한다. 특히 간과하기 쉬운 산포와 신뢰성이란 관점에서 소자 특성의 몇 가지 이슈들을 설명하여 이해를 돕고자 한다.